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[发明专利]一种膜层厚度控制装置-CN202310404029.5在审
发明人：张坤;卿万梅;陈林 -专利权人：重庆京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种膜层厚度控制装置，包括：蒸镀基板；至少一个蒸镀点源，用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以使气化的蒸镀材料粒子在蒸镀基板面向蒸镀点源的一面形成蒸镀膜层；遮挡板，设置在蒸镀基板与蒸镀点源之间；其中，遮挡板与蒸镀基板之间具有间隔，遮挡板在蒸镀基板上的正投影位于蒸镀基板内，且覆盖蒸镀点源在蒸镀基板上的正投影；旋转机构，连接蒸镀基板，用于带动蒸镀基板旋转，蒸镀基板在旋转过程中，遮挡板遮挡靠近蒸镀点源的蒸镀材料粒子形成到遮挡板，以在蒸镀基板上形成膜厚均匀的蒸镀膜层。旨在提供一种控制蒸镀基板上蒸镀材料粒子量的沉积量，以使在蒸镀基板上形成膜厚均匀的蒸镀膜层的控制装置。
一种厚度控制装置

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201620208282.9有效
发明人：崔富毅;陈旭;张金中 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决因基板发生坍塌而导致蒸镀在基板上的图案的位置精度降低的问题。所述蒸镀装置包括真空蒸镀室，真空蒸镀室内设置有蒸镀源单元、基板载具和冷却板，其中，基板载具位于蒸镀源单元的上方，待蒸镀基板安装在基板载具，冷却板位于待蒸镀基板的上方；冷却板中设置有吸附安置孔；吸附安置孔内设置有对待蒸镀基板进行吸附的吸附件，吸附件可相对待蒸镀基板上下移动。所述蒸镀装置通过吸附件吸附待蒸镀基板，使待蒸镀基板与冷却板接触，并使待蒸镀基板保持平整，减小待蒸镀基板的坍塌程度，改善蒸镀在待蒸镀基板上的图案的位置精度。
一种装置

[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN201510438233.4有效
发明人：丁立薇;党鹏乐;朱晖;张小宝 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法，用于蒸镀AMOLED基板，蒸镀设备包括基板载物台，用于承载AMOLED基板；蒸镀掩膜板，开设有作为蒸镀图案的空槽，蒸镀掩膜板压设于AMOLED基板；蒸发源装置，与基板载物台相邻，用于提供蒸镀材料；蒸镀阻挡装置，罩设于蒸镀掩膜板及蒸发源装置，并与蒸镀掩膜板及蒸发源装置形成蒸镀腔。上述蒸镀设备，蒸镀掩模板通过自身重量贴合于AMOLED基板，蒸发源装置提供的蒸镀材料在蒸发后由于蒸镀阻挡装置的反射而附着在AMOLED基板上。如此，在蒸镀过程中，蒸镀掩膜板其形状在蒸镀过程中不发生变化，从而避免因蒸镀掩模板及AMOLED基板倒置而蒸镀位置的偏差或混色。
设备方法

[实用新型]一种蒸镀机-CN201821175507.0有效
发明人：张珅骏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。解决了现有技术中一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。
蒸镀材料蒸镀源蒸镀蒸镀基板蒸镀机轨道对基板对位对准玻璃基板破片本实用新型对位机构轨道运行蒸镀腔室源运行蒸镀腔室内

[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备-CN201810060024.4在审
发明人：肖冯俊树;李椿光;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用所述蒸镀方法用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。其中，所述蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀所述蒸镀设备通过所述蒸镀方法实现同时蒸镀两种不同产品类型的玻璃基板。
蒸镀玻璃基板蒸镀设备投送传送机构路径信息蒸镀装置产品类型预设串联

[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备-CN201710055136.6有效
发明人：彭兆基;邱林;李倩;何麟;高峰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀方法及蒸镀设备。上述蒸镀方法包括如下步骤：将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀源中，将蒸镀源与待蒸镀基板相对设置，且蒸镀源的开口朝向待蒸镀基板；对蒸镀源进行加热至预设温度后，移动蒸镀源和/或待蒸镀基板，使蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线。采用上述蒸镀方法进行蒸镀时，即使TS距离较小，由于蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线，则shadow effect贡献度低、分布均匀且无周期性波动，不容易形成低视角G向此外，本发明还涉及一种可采用上述蒸镀方法的蒸镀设备。
方法设备

[发明专利]一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法-CN201510250246.9有效
发明人：赵德江 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法，属于显示技术领域，其可解决现有的蒸镀柔性基板的方法易损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构的问题。本发明的柔性基板蒸镀装置包括至少两个卷轴，用于缠绕和固定柔性基板；线源单元，位于两个卷轴之间的柔性基板的一侧，用于蒸镀两个卷轴之间的柔性基板。本发明的柔性基板蒸镀装置，采用卷轴缠绕和固定柔性基板，蒸镀完成后无需将柔性基板从玻璃基板上剥落，不会损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构。本发明的柔性基板蒸镀装置可以实现连续作业，提高生产效率。本发明的柔性基板蒸镀装置适用于蒸镀所有类型的柔性基板。
一种柔性基板蒸镀装置方法

[实用新型]一种蒸镀对位系统及蒸镀装置-CN201621105664.5有效
发明人：田川 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-10-08 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀对位系统及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决待蒸镀基板因静电被吸附在冷却板上而导致蒸镀装置的工作受到不良影响的问题。所述蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板安装在基板载具上，掩膜版安装在掩膜版载具上，待蒸镀基板位于冷却板的下方，掩膜版位于待蒸镀基板的下方；分离件可与基板载具一起相对冷却板向下移动，使待蒸镀基板与冷却板分离。分离件与基板载具一起向下移动，分离件向待蒸镀基板施加向下的力，使待蒸镀基板与冷却板分离，防止蒸镀装置的工作受到不良影响。本实用新型提供的蒸镀对位系统应用于蒸镀装置中。
一种对位系统装置

[实用新型]一种基板蒸镀载具及蒸镀设备-CN201720331093.5有效
发明人：申永奇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板蒸镀载具及蒸镀设备。其中，基板蒸镀载具包括具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀在实用新型的方案中，工作台通过多个固定结构可以设置多个待蒸镀基板，通过旋转工作台的方式使蒸镀设备分别对每个工作面上的待蒸镀基板进行蒸镀，在所有待蒸镀基板完成蒸镀后，可以一次大批量的更换待蒸镀基板，从而有效降低了待蒸镀基板的更换频率，进而提高了蒸镀效率。
一种基板蒸镀载具设备

[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置-CN201721763249.3有效
发明人：刘肖楠;宋锐男;于森;宋裕斌;谢飞;李坡;吕冲;曾义红;唐富强;靳福江;安成国 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置，用于蒸镀技术领域，解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。该蒸镀载板用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板，所述蒸镀载板包括：底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块，一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板，所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠，且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3，小于所述子蒸镀基板的面积；其中，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。用于蒸镀工序中。
蒸镀基板蒸镀载板底板支撑显示区域蒸镀装置本实用新型分离设置白点正投影点亮弧面凸起承载

[发明专利]蒸镀方法及蒸镀装置-CN201810099839.3有效
发明人：苟玺;毋炳辉;王卫卫;何麟 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明一实施例提供一种蒸镀方法及蒸镀装置，该蒸镀方法包括将待蒸镀基板与蒸镀机构进行位置匹配；将待蒸镀基板划分为多个待蒸镀区；根据各待蒸镀区的厚度变化调整蒸镀机构的蒸镀速度。本发明实施例提供的蒸镀方法通过将待蒸镀基板划分为多个待蒸镀区，根据各待蒸镀区的厚度变化调整蒸镀机构的蒸镀速度的方式，实现了有效提高待蒸镀基板的厚度均一性的目的，此外，待蒸镀区的划分可实现进一步精准提高待蒸镀基板的厚度均一性的目的
蒸镀蒸镀基板厚度均一性厚度变化蒸镀装置位置匹配

[发明专利]一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法-CN201810074497.X有效
发明人：刘锦东;范超龙;刘乐;杨小翠 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，以提高蒸镀过程的效率，并提高对待蒸镀基板进行蒸镀后的良率。该基板固定载具包括支撑框架和冷却板，支撑框架中部具有中空区域，支撑框架对应于中空区域的内壁上设置有支撑部；冷却板与支撑框架可相向移动，冷却板与支撑框架相向移动时，冷却板落入中空区域内，冷却板的边缘与支撑部相对；对待蒸镀基板蒸镀时，待蒸镀基板位于中空区域内，待蒸镀基板的边缘位于支撑部上，待蒸镀基板呈长方形结构，冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度，冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度
蒸镀基板冷却板蒸镀支撑框架中空区域基板固定载具支撑相向移动蒸镀设备长方形结构长边短边良率内壁

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板-CN202310365483.4在审
发明人：董晴晴;范刘静 -专利权人：上海天马微电子有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。本发明有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。
装置方法有机发光显示面板

[发明专利]一种真空蒸镀方法-CN202011024093.3在审
发明人：李同裕 -专利权人：扬州吉山津田光电科技有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空蒸镀方法，属于真空蒸镀领域。它包括：一、提供蒸镀腔室；二、提供若干蒸镀台，将蒸镀台设置于蒸镀腔室内底部，每个蒸镀台的顶部设置不同的蒸发源，设置不同蒸发源的蒸镀材料不同；三、提供若干基板，将基板设置在蒸镀腔室内顶部，其中一个基板水平设置，其余基板倾斜设置且环绕于水平设置的基板周围。本发明通过环绕式设置多个基板，配合多个蒸镀台，能对基板进行不同材料的同时蒸镀，且蒸镀台的蒸发源散发处的材料分子可更大面积的被基板朝向蒸镀台的待镀面接收，从而降低了对材料的浪费。
一种真空方法

[发明专利]蒸镀装置和蒸镀方法-CN201810225281.9在审
发明人：万冀豫;汪栋;宋勇志;陈南;张大成;张思凯 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀装置，用于对待蒸镀基板进行蒸镀，所述蒸镀装置包括：容纳有压缩气体的蒸镀腔室，用于承载待蒸镀基板和靶材；纵波产生结构，设置于所述蒸镀腔室内，用于发出沿第一方向传播的矩形纵波，以使所述蒸镀基板和所述靶材之间的所述压缩气体在矩形纵波的波峰处形成用于遮挡靶材分子的密部，在矩形纵波的波谷处形成用于提供靶材分子向所述待蒸镀基板移动的通道的疏部，其中，所述疏部对应于所述待蒸镀基板的待蒸镀区域，所述密部对应于所述待蒸镀基板的非蒸镀区域，所述第一方向与所述待蒸镀基板的待蒸镀面平行本发明还涉及一种蒸镀方法。
蒸镀基板蒸镀靶材纵波蒸镀装置压缩气体疏部蒸镀腔室波谷处蒸镀面蒸镀腔波峰遮挡平行承载容纳室内移动传播

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